薄膜电容的主要优点是绝缘电阻高，耐热性好。具有自愈性和无感特性。具有优良的高频绝缘性能，电容量与损耗角在很大频率范围内与频率无关，随温度变化很小，而介电强度随温度升高而有所增加，这是其他介质材料难以具备的。耐温高，吸收系数小。

薄膜电容结构图：